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真空技术名词术语

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一、 一般术语
1.标准环境条件:温度为20℃,相对湿度为65%,大气压力为101325Pa。
2.气体的标准状态:温度为0℃,压力为101325Pa。
3.压力(压强):气体分子从某一假想平面通过时,沿该平面的正法线方向的动量改变率,除以该平面面积或气体分子作用于其容器表面上的力的法向分量,除以该表面面积。
4.帕斯卡(符号:Pa):国际单位制压力单位,1 Pa=1N/m2。
5.分压力:混合气体中某一组分的压力。
6.全压力:混合气体中所有组分压力的总和。
7.真空:在指定空间内,低于一个大气压力的气体状态。
8.真空度:表示真空状态下气体的稀薄程度,通常用压力值来表示
9.气体:不受分子间相互作用力的约束且能自由地占据任意空间的物质。(注:在真空技术中,“气体”一词不严格地应用于非可凝性气体和蒸汽。)
10.非可凝性气体:在临界温度以上的气体,即单纯增加压力不能使其液化的气体。
11.蒸汽:在临界温度以下的气体,即单纯增加压力能使其液化的气体。
12.饱和蒸汽压:在给定温度下,某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
13.饱和度:蒸汽压对其饱和蒸汽压之比。
14.饱和蒸汽:在给定温度下,压力等于其饱和蒸汽压的蒸汽。
15.未饱和蒸汽:在给定温度下,压力小于其饱和蒸汽压的蒸汽。
16.分子数密度(单位:m-3):在某瞬时,气体中某点周围体积内的分子数,除以该本积。
17.平均自由程:一个分子与其它气体分子每连续二次碰撞走过的路程,叫自由程。相当多的不同自由程的平均值,叫平均自由程。
18.碰撞率:在给定时间间隔内,一个分子(或其他规定粒子)相对于其它气体分子(或其它规定粒子)运动,受到的平均碰撞次数,除以该时间。这个平均碰撞次数是应在足够多的分子数和足够长的时间间隔下取得。
19.体积碰撞率:在给定时间间隔内,在围绕规定一点的空间范围内,气体分子间的平均碰撞次数除以该时间和该空间范围体积。所取时间间隔和体积不应太小。
20.气体量:处于平衡状态的理想气体所占有的体积同其压力的乘积。此值必须注明气体温度或换算成20℃时的数值。
(注:气体量是指该量气体所占体积内气体内禀能量(或位能)的2/3。
21.气体的扩散:气体由于浓度梯度而在另一种介质中的运动。介质可以是另一种气体(这种情况下的扩散称之为互扩散)或者是可凝聚物质。
22.扩散系统:通过单位面积的质量流率的绝对值同该单位面积的法向浓度梯度之比。
23.粘滞流:气体分子的平均自由程远小于导管最小截面尺寸的流态。因此,流动取决于气体的粘滞性,粘滞流可以是层流或滞流。
24.粘滞系数:在气流速度梯度方向单位面积上的切向力与速度梯度之比。
25.泊肖叶流:流过圆截面长导管的层流粘滞流。
26.中间流:在层流和分子流之间状态下气体通过导管的流动。
27.分子流:气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态。
28.克努曾数:气体分子的平均自由程与导管直径之比。
29.分子泻流:气体流过薄壁小孔,其分子的平均自由程较小孔尺寸大得多的情况时的流动状态。
30.流逸:由压力差引起的气体通过多孔物体的流动。
31.热流逸:在分子流状态下,两个连通容器由于温度不同引起了气体流动,当气体传输达到平衡时,两个容器之间产生压力梯度的现象。
32.分子流率:在给定时间间隔内,从给定方向穿过表面的分子数与从相反方向穿过该表面的那些分子数之差,除以该时间。
33.分子流率密度:分子流率除以表面面积。
34.质量流率:在给定时间间隔内通过某一截面的气体质量,除以该时间。
35.流量:在给定时间间隔内通过某一截面的气体量除以该时间。
36.体积流率:在给定温度、压力和给定时间间隔的条件下通过某截面的气体体积,除以该时间。
37.在给定时间间隔内通过给定截面的气体的摩尔数,除以该时间。
38.麦克斯韦速度分布:由麦克斯韦—波尔兹曼速度分布函数确定的一种速度分布。即气体分子在一定温度下处于平衡态和到器壁的距离大于分子平均自由程时的速度分布。
39.传输几率:无规律地进入导管入口的分子通过出口的几率。
40.分子流导:气体通过管的两规定截面或孔流动的分子流导为:其分子流率与管的两截面或孔的两侧的平均分子数密度差之比。
41.流导:在等温条件下,气体通过导管或孔流动时,其流量与导管的两规定截面或孔的两侧的平均压力差之比。
42.固有流导:在容器中麦克斯韦速度分布占优势的条件下,连接这样两个容器的导管(或小孔)的流导。在分子流条件下,它等于入口流导与传输几率之积。
43.流阻:流导的倒数。
44.吸附:固体或液体(吸附剂)对气体或蒸汽(吸附质)的捕集现象。
45.表面吸附:气体或蒸汽(吸附质)存留在固体或液体(吸附剂)表面上的吸附现象。
46.物理吸附:由于物理作用的吸附现象。
47.化学吸附:由于化学作用的吸附现象。
48.吸收:气体或蒸汽(吸附质)扩散进入到固体或液体(吸附剂)内部的现象。
49.适应系数:入射到某一表面的粒子和该表面实际交换的平均能量与粒子在该表面上达到完全的热平衡条件所应当交换的平均能量之比。
50.入射率:在给定时间间隔内,入射到表面的分子数,除以该时间和该表面面积。
51.凝结率:在给定时间间隔内凝结在某一表面积上的分子数(或物质量或物质质量),除以该时间和该表面面积。
52.粘着率:在给定时间间隔内表面上吸附的分子数,除以该时间和该表面面积。
53.粘着几率:粘着率与入射率之比。
54.滞留时间:分子在表面上以吸附状态被约束的平均时间。
55.迁移:分子在表面上的移动。
56.解吸:被材料吸附的气体或蒸汽的释放现象。释放可以是自然的,也可用物理方法加速。
57.去气:气体从材料中人为的解吸。
58.放气:气体从材料中自然的解吸。
59.解吸气或放气或去气速率:在给定时间间隔内,从材料中解吸(或放气或去气)的气体流量(或分子流率),除以该时间和该表面面积。
60.蒸发率:在给定时间间隔内从表面上蒸发的分子数(或物质量或物质质量)除以该时间和该表面面积。
61.渗透:气体通过固体阻挡层的现象。该现象包括气体通过固体的扩散,也可以包括其它的表面现象。
62.渗透率:在稳定流动的条件下,气体通过阻挡层(如器壁)的流量除以阻挡层两侧压力函数的量,该函数形式取决于实际渗透所涉及的物理过程。
63.渗透系数:渗透率与阻挡层厚度之积,除以渗透表面积。